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技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。
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平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
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六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
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モニター再生加工
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| お客様のウエハプロセスで使用済みになったモニター・ダミーウエハを新品同等品質に再生し、複数回使用を可能にするリサイクル事業です。 |
対応ウエハ
口径：
３インチ
４インチ
５インチ
６インチ |
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膜除去
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エッチング液
選択
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受入
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研磨
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厚み・膜種分類
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出荷
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検査
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洗浄
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パーティクル・
金属汚染・厚み・外観
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RCA洗浄
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■ 新装置：比抵抗・P/N・厚みソーター装置
４・５・６・８インチ対応 |
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比抵抗値測定範囲：1.0m～3.0MΩ・cm |
多種多様な膜種を熟練工が一目で選別します。 |
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各種製膜に対してウエットエッチにて膜除去を行います。 |
膜除去後、ウエハ厚みにより分類いたします。 |
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バッチ研磨のためプレートにウエハを平坦に貼りつけます。 |
バッチ式鏡面研磨を行います。 |
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研磨したウエハをプレートより剥離ます。 |
金属汚染・パーティクルの除去を行います。 |
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研磨したウエハのパーティクルを検査します。 |
最終出荷前に、お客様条件に対応すべく検査をし、出荷いたします。 |
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ウエハ表面金属不純物12元素（S, Cl, K, Ca, Ti, Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn)の分析が可能です。 |
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