 |
|
|
|
|
技術、加工についてのご質問等、ご相談などお気軽にお問合せ下さい。
 |
|
 |
求人に関するお問い合わせについては、下のボタンをクリック下さい。
|
|
平成２４年度西宮市
優良事業所顕彰受賞
 |
六甲電子株式会社
〒663-8105
兵庫県西宮市中島町8番5号
|
|
|
|
|
|
|
６・８インチSiCウエハ
新加工プロセス
|
| 裏面薄化 |
： |
研削 |
⇒ |
CMP(Option) |
|
|
|
| Epi再生 |
： |
研削 |
⇒ |
CMP |
⇒ |
RCA洗浄 |
|
⇒ |
SICA88 |
⇒ |
RCA洗浄 |
|
|
|
| 膜除去再生 |
： |
エッチング |
⇒ |
RCA洗浄 |
|
|
|
|
SICA88（Option) |
● |
TXRF（Option) |
● |
ICP-MS（Option) |
|
| ウエハーメーキング |
： |
片面研削 |
⇒ |
片面研削 |
⇒ |
片面CMP |
|
⇒ |
片面CMP |
⇒ |
RCA洗浄 |
⇒ |
SICA88 |
| |
|
MEM（Option) |
● |
Tropel（Option) |
● |
Zygo（Option) |
|
| 測定サービス |
： |
MEM（潜傷) |
● |
Tropel（平面度) |
● |
TXRF（金属汚染) |
| |
● |
ICP-MS（金属汚染) |
● |
SICA88（スクラッチ) |
● |
Zygo（面粗さ) |
|
| ● 量産化に伴う処理枚数能力増加
● シリコン工程と完全分離し，受入～出荷までを一環処理
● プロセス短縮によるコスト削減
|
■ 8インチ ＳｉＣ加工精度
|
|
 |
|
8インチ SiC 加工工程ごとのTTV 精度 |
 |
|
|
|
8インチ SiC 加工工程ごとのSBIR 精度
（Site Size XY 10*10mm Offset XY 0,0) |
 |
|
|
|
8インチ SiC 加工工程ごとのSFQR 精度
（Site Size XY 10*10mm Offset XY 0,0) |
 |
| |
|
|
8インチ SiC 加工工程ごとの3pt-Warp 精度 |
 |
|
|
|
8インチ SiC 研磨加工後の表面粗さ（Sa) 精度 |
 |
| |
|
|
| |
|
|
|
■ 8インチSiC
研磨加工後の欠陥検査
|
|
|
|
表面の欠陥MAP
（SICA88：共焦点・微分干渉顕微鏡）
|
|
|
|
潜傷MAP
（ミラー電子式検査装置＝MEM）
|
|
■ 8インチ
ＳｉＣウエハ超薄化加工
|
|
|
|
サポート付きＳｉＣウエハの加工実績例
|
|
■ 6/8インチ
各種測定サービス
|
|
|
|
サポート付きＳｉＣウエハの加工実績例
|
● ミラー電子顕微鏡 【MEM】
※8インチSiC 対応可 |
※受託検査対応
表面(Si面)潜傷検査機として使用
加工ダメージ・欠陥を確認
|
|
● SiCウェハ欠陥検査・レビュー装置
【SICA88】※8インチSiC 対応可
|
※受託検査対応
表面(Si面・C面)のスクラッチ検査として使用
その他、Pit・欠陥等の確認 |
● ウェーハ平面度測定・解析装置 【Tropel】
|
※受託検査対応
加工前後の平坦度確認として使用
TTV・NTV・SORI・BOW・WARP等
|
|
※受託検査対応
加工後の面粗さ確認として使用(非接触測定)
研削後・CMP後粗さ測定
|
※受託検査対応
金属コンタミ・全面スイープ測定可能
【 S Cl K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn 】 |
|
● 誘導結合プラズマ質量分析装置
【ICP-MS】 |
※受託検査対応
金属コンタミ・各種金属測定可能 |
|
|
.gif)
