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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan



加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

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▼ Rückgewinnung von monitorwafer



Rückgewinnung der Monitor-Wafer
Wir recyceln Monitor-Wafer, welche in Halbleiterprozessen bereits von unseren Kunden verwendet wurden, und bringen sie auf den neuesten Stand, sodass sie mehrmals wiederverwendet werden können.
Größe des Wafer:
3-Zoll
4-Zoll
5-Zoll
6-Zoll
Beseitigung des Filmes
Rückgewinnung der Monitor-Wafer
Selektion des Rezepts
Rückgewinnung der Monitor-Wafer  
Eingangskontrolle
Rückgewinnung der Monitor-Wafer
Polieren
Klassifizierung der Dicke bzw. Filmart
 
 
Rückgewinnung der Monitor-Wafer
Versand
Rückgewinnung der Monitor-Wafer
Endkontrolle
Rückgewinnung der Monitor-Wafer
Reinigung
 
Partikel, Metallverunreinigung, Überprüfung der Dicke und des Aussehens
 
RCA Reinigung



Neues Werkzeug: Wafersortierer für Widerstand, P/N, Dicke
● Wafersortierer für Widerstand, P/N, Dicke

Wafersortierer für Widerstand, P/N, Dicke
Für 4,5,6,8 Zoll
● Wafersortierer für Widerstand, P/N, Dicke

Wafersortierer für Widerstand, P/N, Dicke
Messbarer Widerstand: 1.0m – 3.0 MΩ・cm


■ Werkzeuge
● Klassifizierung der Filmart

Klassifizierung der Filmart
Wafer werden von erfahrenen Anwendern je nach Filmtyp sortiert.
● Beseitigung des Filmes

Beseitigung des Filmes
Durch chemisches Ätzen werden verschiedene Filme auf der Waferoberfläche beseitigt.
● Sortierung der Dicke

Sortierung der Dicke
Die Wafer werden nach dem Abziehen der Filme je nach Dicke sortiert.
● Wafermontage

Wafermontage
Wafer werden auf Keramikplatten montiert.
● Poliergeräte mit Batchsystem

Poliergeräte mit Batchsystem
Führt mehrere Wafer-Spiegelpolierungen durch.
● Waferdemontage

Waferdemontage
Wafer werden nach dem Polieren von einer Platte demontiert.
● RCA Reinigungsmaschine

RCA Reinigungsmaschine
Wafer werden gereinigt um Metallverunreinigungen und Partikel zu entfernen.
● Partikelzähler

Partikelzähler
Dieses Werkzeug untersucht Partikel auf der polierten Waferoberflächen.
● Endkontrolle

Endkontrolle
Wafer werden gemessen und darauf überprüft, ob sie mit den Anforderungen der Kunden übereinstimmen.
● Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalysator TREX610

Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalysator TREX610
Messbare Elemente: 12 Elemente (S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn)
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