È il processo di riciclo che
rende possibile il riutilizzo dei monitor wafer usati dal
cliente, rigenerandoli allo stato originali e consentendo
così un abbattimento dei costi.
Misure del
wafer:
3 inch
4 inch
5 inch
6 inch
Rimozione
della pellicola
Selezione dell’acquaforte
Accettazione
Lucidatura
Classificazione in base
allo spessore e al tipo di pellicola
Spedizione
Controllo
finale
Pulitura
Ispezione delle particelle,
della contaminazione dei metalli, dello spessore e dell’aspetto
esteriore
Pulitura RCA
■ Nuovo macchinario: Selettore di wafer
per resistività, P/N, spessore
● Selettore di wafer per resistività,
P/N, spessore
Per 4, 5, 6, 8 inch
● Selettore di wafer per resistività,
P/N, spessore
Resistività misurabile: 1,0m～3,0 MΩ・cm
■ Attrezzature e Macchinari
● Suddivisione pellicole
I wafer sono suddivisi da operatori esperti in base ai differenti
tipi di pellicola.
● Rimozione della
pellicola
I vari tipi di pellicola vengono rimossi mediante l’acquaforte.
● Suddivisione di
spessore
I wafer sono suddivisi per spessore dopo la rimozione della
pellicola.
● Installazione dei
wafer
I wafer vengono installati su un piano di ceramica.
● Lucidatrice a lotto
Compie multiple lucidature dei wafer.
● Rimozione a lotti
I wafer lucidati vengono rimossi dal piano.
● Pulitrice RCA
I wafer vengono puliti per rimuovere le contaminazioni dei
metalli e le particelle.
● Contatore di particelle
La macchina esamina le particelle sulle superfici lucidate
del wafer.
● Ispezione finale
I wafer sono misurati e controllati per rispettare le direttive
del cliente.
● Analizzatore a totale riflessione
a raggi x fluorescenti TREX610
Elementi misurabili: 12 (S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co,
Ni, Cu, Zn)
