LTLNOxide:六甲?子株式会社


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六甲电子株式会社

邮编: 663-8105
兵库县西宫市中岛町8-5

■ 4英寸和6英寸LT/LN结基板和氧化物晶片的超薄化和平面化

随着新设备的引进，超薄超平加工成为可能！
我们引进了梯形加工设备、超高精度磨床、CMP（化学机械抛光）和修边机。
我们实现了纳米级的减薄和超平坦化。

■4.6英寸LT/LN结衬底晶片的超薄化和平面化
		梯田加工 ⇒ 研磨 ⇒ 化学机械抛光 ⇒ 修整

梯田加工	⇒	研磨	⇒	CMP（扁平化）	⇒	修整
	⇒		⇒		⇒

■氧化膜 ⇒ 超平整化处理
		CMP⇒修整处理前后的表面平整度和粗糙度数据


		即使采用 4.6 英寸 LT/LN 键合衬底晶片，也能实现如下所述的超薄化和平面化程度。