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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan



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NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

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▼ Technologie de meulage

Le meulage et le polissage sont les technologies de base qui décident de la qualité et des caractéristiques des semi-conducteurs.
Nous développons continuellement nos traitements en adoptant de nouvelles technologies créées suite à des améliorations consécutives.
De ce fait, nous jouons un rôle important dans le domaine du traitement de meulage et de polissage des plaquettes spéciales MEMS, et nos technologies établies permettent de répondre aux demandes des clients sur de différentes phases telles que la R&D ou les productions en volume.
■ Meulage

Meulage Le meulage précis est un facteur déterminant pour éliminer les écarts d’épaisseur. Dans ce processus, le bon type de machine répondant aux exigences du client est soigneusement sélectionné parmi la variété des équipements de traitement.
Les technologies de meulage de Rokko sont capables de garantir une épaisseur minimale de 15um pour les prototypes et de 100 à 150um pour les productions en volume.

■ Polissage
Polissage Après le meulage, une légère rugosité est créée sur la surface de la plaquette.
Au cours de ce traitement, les plaquettes sont soigneusement polies pour éliminer la rugosité. Le polissage doit être effectué de manière précise et rapide afin d’éviter toute distorsion et rayure à la surface des plaquettes.

■ MEMS
MEMS Les technologies de Rokko nous permettent de fournir des services intégrés de reproduction et de polissage pour les plaquettes traitées par MEMS (Micro Electronics Mechanical System) telles que SOI et le GWSS, percées, à structure en cavité, à travers le silicium via (TSV) et non circulaires.

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