Récupération des Plaquettes de Surveillance:Rokko electronics S.A.S


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ISO9001&ISO14001

平成２４年度西宮市優良事業所顕彰受賞

ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan

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▼　Récupération des Plaquettes de Surveillance

Reproduction des plaquettes de surveillance
Ce service de reproduction permet de réutiliser les plaquettes de surveillance utilisées dans le traitement de fabrication des semi-conducteurs en affinant leurs conditions à la qualité d’origine. Grâce à ces services, les plaquettes de surveillance peuvent être utilisées de manière répétée afin de réduire les coûts matériels.
Taille de plaquette: 3 pouces 4 pouces 5 pouces 6 pouces		Décapage de film
Taille de plaquette: 3 pouces 4 pouces 5 pouces 6 pouces		Recette choisie
Déroulement de l’inspection				Polissage
Classification de l’épaisseur et le type de film
Expédition		Inspection finale		Nettoyage
		Inspection des particules, de la contamination métallique, de l’épaisseur et de l’apparence		Nettoyage RCA

■ Nouvel équipement: Trieur de plaquette pour résistivité / Numéro de partie / épaisseur

●　Trieur de plaquette pour résistivité / Numéro de partie / épaisseur

Trieur de plaquette pour résistivité / Numéro de partie / épaisseur

Pour 4, 5, 6, 8 pouces

●　Trieur de plaquette pour résistivité / Numéro de partie / épaisseur

Trieur de plaquette pour résistivité / Numéro de partie / épaisseur

Résistivité mesurable: 1,0m à 3,0 MΩ・cm

■　Outils et équipements

●　Tri par film

Tri par film

Les plaquettes sont triées par types de films par des opérateurs expérimentés.

●　Décapage de film

Décapage de film

Divers films sur les plaquettes sont retirés par gravure chimique.

●　Tri par film

Tri par film

Les plaquettes sont triées par types de films par des opérateurs expérimentés.

●　Montage des plaquettes

Montage des plaquettes

Les plaquettes sont montées sur une plaque de céramique.

●　Polisseuse par système de lots

Polisseuse par système de lots

Effectue le polissage miroir de plusieurs plaquettes.

●　Démontage des plaquettes

Démontage des plaquettes

Les plaquettes sont démontées d’une plaque après le polissage.

●　Machine de nettoyage RCA

Machine de nettoyage RCA

Les plaquettes sont nettoyées pour éliminer les contaminations et les particules métalliques.

●　Compteur de particules

Compteur de particules

Cet outil permet d’inspecter les particules sur les surfaces polies des plaquettes.

●　Inspection finale

Inspection finale

Les plaquettes sont mesurées et inspectées pour être conformes aux spécifications du client.

●　Outil d’analyse par fluorescence de rayons X à réflexion totale TREX610

全反射蛍光Ｘ線表面分析装置

Éléments mesurables : 12 éléments (S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn)

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