 |
|
|
|
|
如果對技術和加工問題需要諮詢，請隨時與我們聯繫。
聯系人：營業部
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
 |
|
 |
|
六甲電子株式會社
郵政編號: 663-8105
兵庫縣西宮市中島町8-5
|
|
|
|
|
|
六甲電子在面向藍寶石・SiC等難加工材料的大直徑化時，做出使用常規的矽加工設備終將有局限性的判斷，因此導入了用固定磨料來對藍寶石・SiC等進行減薄加工的專用減薄機。
現在我們在試制各種顧客所要求的晶圓，得到包括後工序在內的評估。
| ■ 六甲電子對於加工諸如藍寶石和SiC等難加工材料的考慮方式 |
●與傳統的難加工材料的加工廠商不同，本公司擁有半導體關聯的顧客為我們培育的環境管理水平（純水管理・凈化室環境・設備/員工培訓教育程序/員工認證管理等），可以在與矽材料相同的環境管理水平上進行作業。
●由於目標工件不僅限於正片，而且對於附帶器件的晶圓也要進行背面的薄化，考慮到下一道工序中工件的清潔度是必需的，為此構築了無蠟工序。
●對於晶圓的薄化（減薄加工）→鏡面化・應力消除（拋光加工）→加工面的清洗（金屬污染・顆粒的低減）（RCA清洗）以及倒角加工，本公司可獨自進行對應。
●與傳統的加工方法相比，預計在時間和成本上都會得到降低。
| |
普通的藍寶石和SiC的加工 |
六甲電子的藍寶石和SiC加工 |
| |
金剛石研磨 |
金剛石拋光 |
拋光CMP（批量式） |
减薄 |
拋光CMP |
| 運行成本 |
高 （金屬定盤+鉆石）
|
高 （金屬定盤 或 Pad+拋光液） |
中
（Pad+拋光液） |
中 （金剛石砂輪）
|
中
（Pad+拋光液） |
| 加工經驗 |
高 |
高 |
中 |
高 |
高 |
| 設備成本 |
高 |
高 |
中 |
高 |
高 |
| 加工速度 |
極低 |
極低 |
低 |
中 |
高 |
| 備註 |
蠟固定。 定盤修正的難易度高。
工序多 |
蠟固定。 定盤修正的難易度高。
工序多 |
蠟固定。 定盤修正的難易度高 |
真空吸附方式。 現行的矽加工設備・藍寶石・SiC專用機。
全自動減薄裝置 |
無蠟拋光 |
■ 新設備：
3、4、5、6英寸對應。 |
|
帶SiC膜的晶圓的再生膜處理是可能的。 |
目標是6英寸的藍寶石・SiC等難加工材料。 |
|
通過NC控制可進行自動加工處理。 |
可通過自動傳送方式進行全自動加工處理。 |
|
用真空吸附晶圓，不需要貼蠟。 |
帶圖案晶圓・裸片均可加工處理。 |
|
用專用的砂輪進行減薄。 |
帶圖案晶圓・裸片均可加工處理。 |
|
用專用的砂輪進行減薄。 |
|
|
