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담당 : 영업부

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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan



加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

SSL GlobalSign Site Seal


▼ 취급 업무

당사는 반도체 생산 공정에서 다음과 같은 업무를 취급합니다.
-웨이퍼의 표면과 백사이드의 정밀 연삭 및 연마 가공
-모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
-화학적 처리 및 금속 오염, 파티클 관리 RCA 세정
-MEMS 웨이퍼 등 특수 웨이퍼의 각종 가공

■ 주요 가공 내용

 

백사이드 연삭 가공

백사이드 연마 가공

백사이드 연삭 연마 가공
■4~8 인치
■범프 웨이퍼
■감압형 테이프, UV 테이프
■링 프레임 웨이퍼

■4~8 인치
■배치식/매엽식 연마 장치
■단면/양면 경면 마감
■RCA 세정


■4~8 인치
■배치식/매엽식 연마 장치
■단면/양면 경면 마감
■GWSS
 
 

재생연마가공
 

MEMS 웨이퍼 가공
     
■4~6 인치
■막 제거
■RCA 세정
■파티클, 금속 오염, 두께, 외관검사

■4~8 인치
■BG&POL
■SOI 웨이퍼 각 레이어 두께 조정
■GWSS
■캐비티 구조, 실리콘관통전극
■하프 컷 다이싱

 
 

■ 각 가공별 사용기기와 설명
● UV 조사기

UV 조사기
UV 테이프 박리기(다이싱 링 포함)
● 전자동 그라인더

전자동 그라인더
단일 웨이퍼 및 다중 웨이퍼 생산 가능.
 


● 2류체 세척기

2류체 세척기
직경 8인치까지의 웨이퍼를 DIW 세정, 헹굼, 공기 건조. 。


모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
웨이퍼 공정에서 이미 사용한 모니터 더미 웨이퍼를 신제품과 동등한 품질로 재생해 여러 번 사용 가능하게 하는 재활용 공정입니다. 이 공정을 통해 모니터 웨이퍼의 반복 사용이 가능해지므로 소재 비용을 절감 효과를 기대할 수 있습니다.
웨이퍼 사이즈
3인치
4 인치
5 인치
6 인치
막 제거
약액 선택
 
입고 검사
연마
두께 및 막 유형 분류
 
 
출하
최종 검사
세정
 
파티클, 금속 오염, 두께, 외관검사
 
RCA 세정

● 막 제거

막 제거
웨이퍼의 다양한 막은 화학적 에칭으로 제거합니다.
● 배치식 연마기

배치식 연마기
배치식 경면 연마를 합니다.
● 매엽식 연마기

매엽식 연마기
매엽식 경면 연마를 합니다.
● RCA 세정장치

RCA 세정장치
웨이퍼의 파티클, 금속 오염 등을 제거합니다.
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