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모니터 웨이퍼의 재생 연마


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담당 : 영업부

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事業継続力強化計画


平成24年度西宮市優良事業所顕彰受賞


ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan



加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

SSL GlobalSign Site Seal


▼ 모니터 웨이퍼의 재생 연마



모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
웨이퍼 공정에서 이미 사용한 모니터 더미 웨이퍼를 신제품과 동등한 품질로 재생해 여러 번 사용 가능하게 하는 재활용 공정입니다. 이 공정을 통해 모니터 웨이퍼의 반복 사용이 가능해지므로 소재 비용을 절감 효과를 기대할 수 있습니다.
웨이퍼 사이즈:
3 인치
4 인치
5 인치
6 인치
막 제거
모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
약액 선택
모니터 웨이퍼 재생 연마 가공  
입고 검사
모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
연마
두께 및 막 유형 분류
 
 
모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
출하
모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
최종 검사
모니터 웨이퍼 재생 연마 가공
세정
 
파티클, 금속 오염, 두께, 외관검사
 
RCA 세정



새 장치:비저항, P/N, 두께 소터 장치
● 비저항, P/N, 두께 소터 장치

비저항, P/N, 두께 소터 장치
4, 5, 6, 8인치 대응
● 비저항, P/N, 두께 소터 장치

비저항, P/N, 두께 소터 장치
측정 가능한 저항 범위:1.0m~3.0MΩ・cm


■ 설비 장치
● 막 종류 분류

막 종류 분류
숙련된 오퍼레이터가 웨이퍼를 막을 종류별로 분류합니다.
● 막 제거

막 제거
웨이퍼의 다양한 막은 화학적 에칭으로 제거합니다.
● 두께 분류

두께 분류
웨이퍼는 막 제거 후 두께별로 분류합니다.
● 웨이퍼 마운팅

웨이퍼 마운팅
웨이퍼는 세라믹 플레이트에 마운팅합니다.
● 배치식 연마기

배치식 연마기
배치식 경면 연마를 합니다.
● 웨이퍼 분리

웨이퍼 분리
웨이퍼는 연마를 한 후 플레이트에서 분리합니다.
● RCA 세정기

RCA 세정기
연마 후 웨이퍼의 금속 오염과 파티클 등을 제거하기 위해 세정합니다.
● 파 틱클 카운타

파 틱클 카운타
연마한 웨이퍼 표면의 파티클을 검사합니다.
● 최종 검사

최종 검사
고객의 사양을 기준으로 웨이퍼를 측정하고 검사합니다.
● 전반사 형광 X선 표면분석장치 TREX610

전반사 형광 X선 표면분석장치 TREX610
측정 가능한 금속: 12 원소(S, Cl, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn)
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