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기술과 가공에 대한 질문, 궁금하신 사항 등 부담을 갖지 마시고 문의해주세요.
담당 : 영업부
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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채용에 관한 문의는 아래 버튼을 클릭해주세요.
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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.
Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan
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검사만의 유상 수탁 검사도 대응하고 있습니다. 부담없이 문의하십시오.
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■ 소재별 검사 대응표
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○표시 = 대응 가능 각 소재＊각 검사 내용
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소재
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얼굴
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파티클
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오염
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평탄도
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두께 측정
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TXRF
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Zygo
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TTV
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SBIR
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SFQR
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BOW
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Warp
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SORI
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접촉식
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비접촉식
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비저항
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P/N
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MEM
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SICA
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실리콘
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N-dope SiC
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Si면
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C면
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반절연 SiC
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Si면
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C면
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SiC 에피 웨이퍼
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다결정 SiC
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GaN
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Ga면
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사파이어
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C면
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R면
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AlN
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Al면
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N면
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석영
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GaN on Si
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GaN on Sap
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GaN on SiC
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SOI
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산화막
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유리
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● Mirelis 전자 현미경 【MEM】
※8인치 SiC 측정 가능 |
※수탁 검사 대응 가능
표면(Si면) 잠상 검사기로서 사용 가공 데미지·결함을 확인
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● SiC 웨이퍼 결함 검사·리뷰 장치
【SICA88】※8인치 SiC 측정 가능
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※수탁 검사 대응 가능
표면(Si면·C면)의 스크래치 검사로서 사용 그 외, Pit·결함 등의 확인 |
 
● 웨이퍼 평면도 측정·해석 장치 【Tropel】
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※수탁 검사 대응 가능
가공 전후의 평탄도 확인으로 사용 TTV · NTV · SORI · BOW · WARP 등
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※수탁 검사 대응 가능
가공 후의 표면 거칠기 확인으로 사용 (비접촉 측정) 연삭 후 · CMP 후 거칠기 측정
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※수탁 검사 대응 가능
금속 오염 · 전면 스윕 측정 가능
【 S Cl K Ca Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn 】 |
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● 유도 결합 플라즈마 질량 분석기
【ICP-MS】 |
※수탁 검사 대응 가능
금속 오염, 각종 금속 측정 가능 |
연마된 웨이퍼의 파티클을 검사합니다. |
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연마한 웨이퍼의 BOW・WARP・TTV의 측정을 실시합니다. |
테이핑 웨이퍼, SOI 웨이퍼, 접합 웨이퍼, 수지/테이프 접합 웨이퍼의 실리콘(2장 이상인 경우 측정하고
싶은 쪽만)만 두께 측정이 가능합니다. |
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4, 5, 6, 8인치 대응
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이 장치는 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내 웨이퍼의 설정된 포인트에서 두께를 측정합니다.
비접촉 캐패시턴스 센서로 측정합니다.
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웨이퍼 표면의 요철을 관찰할 수 있습니다. |
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웨이퍼는 할로겐 램프가 설치된 암실에서 검사합니다. |
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