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기술과 가공에 대한 질문, 궁금하신 사항 등 부담을 갖지 마시고 문의해주세요.
담당 : 영업부
TEL: 81-798-65-4508
FAX: 81-798-67-5038
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채용에 관한 문의는 아래 버튼을 클릭해주세요.
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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.
Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan
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■ 소재별 가공 대응표
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○표시 = 대응 가능 각 소재＊각 가공 내용
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가공 내용
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소재
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얼굴
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베벨 가공
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Temporary bonding
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연삭
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막 제거 에칭
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연마
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양면 연마
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CMP
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RCA
claening
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Reclaim
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gas cluster beam
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Frame mount
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실리콘
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○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
N-dope SiC
|
Si면
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
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|
C면
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○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
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|
반절연 SiC
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Si면
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○
|
○
|
○
|
○
|
○
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|
○
|
○
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|
○
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|
C면
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○
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○
|
○
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○
|
○
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|
|
○
|
○
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|
○
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|
다결정 SiC
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○
|
○
|
○
|
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|
○
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|
○
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LiTaO 3
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○
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|
○
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|
○
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|
○
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|
○
|
○
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|
LiNbO3
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|
○
|
|
○
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|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
GaN
|
Ga면
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
N면
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|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
사파이어
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○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
Ga2O3
|
|
○
|
○
|
○
|
|
|
|
|
|
|
|
○
|
|
AlN
|
|
○
|
|
|
|
|
|
|
○
|
|
|
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|
석영
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
GaN on Si
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
GaN on Sap
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
GaN on SiC
|
|
○
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
SOI
|
|
○
|
○
|
○
|
○
|
○
|
|
|
○
|
|
|
○
|
|
산화막
|
|
|
|
|
|
○
|
|
○
|
|
|
○
|
|
|
유리
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
○
|
○
|
|
○
|
|
|
|
2inchGaN-250um 마무리
|
 |
|
|
|
CMP마무리 2inchGaN-250um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
um
|
250.4
|
250.4
|
249.6
|
250.7
|
250.2
|
1.1
|
250.3
|
Zygo 측정 데이터
|
No.
|
Sa (면조도) 단위：nm
|
|
외주
|
중간
|
중심
|
평균
|
|
1
|
0.097
|
0.188
|
0.194
|
0.160
|
|
|
|
|
6inchSAP-250um CMP마무리
|
 |
|
|
|
CMP마무리 6inchSAP-250um 단위:um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
1
|
250.2
|
249.8
|
250.8
|
250.1
|
249.6
|
1.2
|
250.1
|
|
2
|
249.1
|
248.2
|
249.5
|
249.7
|
248.5
|
1.5
|
249.0
|
|
3
|
250.5
|
250.1
|
248.8
|
250.3
|
249.8
|
1.7
|
249.9
|
Zygo 측정 데이터
|
No.
|
Sa (면조도)
단위：nm
|
|
외주
|
중간
|
중심
|
평균
|
|
1
|
6.23
|
6.01
|
5.20
|
5.81
|
|
2
|
4.60
|
5.30
|
5.81
|
5.24
|
|
3
|
6.21
|
6.07
|
5.35
|
5.88
|
|
|
|
|
6inch-GaNonSiC(유리 수지 접합) CMP마무리
|
 |
|
|
|
CMP마무리 6inch-GaNonSiC(유리 수지 접합) 단위:um
|
ウェハ
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
TV5
|
AVE.
|
|
1
|
50.5
|
50.2
|
50.1
|
48.4
|
49.3
|
2.1
|
49.7
|
|
2
|
50.1
|
49.1
|
50.3
|
50.6
|
50.8
|
1.7
|
50.2
|
|
3
|
49.6
|
49.8
|
50.1
|
51.6
|
50.8
|
2.0
|
50.4
|
Zygo 측정 데이터
|
No.
|
Sa (면조도)
단위：nm
|
|
외주
|
중간
|
중심
|
평균
|
|
1
|
0.094
|
0.094
|
0.098
|
0.095
|
|
2
|
0.091
|
0.094
|
0.096
|
0.094
|
|
3
|
0.091
|
0.098
|
0.097
|
0.095
|
|
|
| |
|
|
