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ROKKO ELECTRONICS Co., Ltd.

Zipp: 663-8105
8-5, Nakajima-cho, Nishinomiya-city, Hyogo, Japan



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SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

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▼ 롯코의 강점

연삭/연마 일관가공과MEMS 가공이 우리의 강점。

당사는 고객의 니즈를 만족시키기 위해 연삭 연마의 원스톱 공정을 통해 고정도 앞뒷면 가공이 가능한 정밀 기술을 확립하고 있으며 신속하게 납품하고 있습니다.
지금까지의 경험을 통해 당사는 MEMS 또는 기타 관련 가공을 통해 다양한 연마와 연삭 수요에 대응해 나가고 있습니다.
고객의 다양한 니즈에 맞춰 연삭 연마의 원스톱 가공이 가능하다는 점이 당사의 강점입니다.

■ 가공 품목
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베벨·연삭·연마·세정의 일관 가공

주로 센서/파워 디바이스에서 필요로 하는 웨이퍼의 얇음・미러면 마무리의 가공을 베벨→연삭→연마→세정의 일관 가공 공정으로 처리・관리합니다. 대응 가능 웨이퍼 사이즈는 4~8 인치, 연마 마무리 두께는 (시작-양산)≤100um 또한 일관 가공 이외에도 그라인더 마무리(Ra:2-3nm), 연마 가공만 등 다양한 요구에 대응합니다.
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모니터 웨이퍼 재생 가공

당사는 두께, 파티클, 금속 오염 관리 등 에 대해 고객의 니즈에 맞춘 맞춤식 대응을 실시하고 있습니다.
이 가공에서는 3~6인치 웨이퍼를 재생할 수 있습니다.
MEMS가공
MEMS가공

이 분야에서 경험을 축적해 온 당사 특별한 연삭 연마 기술을 통해 MEMS 가공도 실시하고 있습니다. 또한 단일 웨이퍼 생산부터 대량 생산, 시제품 제작까지 대응 가능합니다.
SOI・GWSS 웨이퍼, 관통, 캐비티 구조, 관통전극, 비원형 등 웨이퍼의 연삭 연마에 대해 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.
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웨이퍼 접합

실리콘 및 화합물 웨이퍼에 놓고 ≤100um에의 가공 요구가 있습니다만, 박화 가공해 버린 웨이퍼의 다음 공정의 이동 등, 웨이퍼 단체에서는 한계가 있습니다. 이러한 웨이퍼에 대해 서포트 기판을 사용해, 다이싱 공정까지의 사이를 서포트해 계속합니다.
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고평탄화 가공

다양한 디바이스 요구 가운데, 기판의 초박화·초평탄화가 요구되는 케이스가 나왔습니다. 이러한 요구에 대응하기 위해, 당사에서는 기판의 초박화와 초평탄화(면내 TTV를 nm 레벨로 컨트롤) 가공을 실현할 수 있었습니다. 산화막의 평탄화 가공도 가능합니다.
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SiC 웨이퍼 가공

SiC 웨이퍼는 8 인치 웨이퍼까지 연삭·연마·RCA 세정·각종 검사·에피 재생 가공이 대응 가능합니다.
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화합물 가공

화합물 웨이퍼는 각종 웨이퍼·각종 가공·각종 검사가 대응 가능합니다. ⇒자세한 것은 화합물 웨이퍼 페이지를 참조해 주십시오.

■ 가공 품질
모든 공정은 잘 통제된 환경에서 이루어지고 있습니다.
환경관리시스템(ISO14000) 인증, 품질관리시스템(ISO9001) 인증을 취득해 국제적인 기준을 만족시키고 있습니다.
품질 중시
품질 중시

당사는 품질을 최우선으로 생각합니다. 두께 정확도, 광택 정밀도 등 모든 파라미터를 측정하고 모니터링하여 고객에게 최고의 품질과 서비스를 제공합니다.
회사소개사업안내롯코의 강점개인정보보호정책품질/환경오시는 길문의개인정보보호정책파워 디바이스반도체 센서모니터 웨이퍼의 재생 연마MEMS/시작품SiCLT・LN・산화막화합물 웨이퍼신뢰의 경영품질 경영그린 경영안전 경영임시 접착양면 연마Premium process검사 장치사파이어 & SiC 전용 그라인더나이프엣지 방지 가공백그라인딩폴리싱패턴 웨이퍼의 RCA 세정채용 정보사이트 맵BCPCSR
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