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阪神南リーディングテクノロジー

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ものづくり中小企業試作開発支援

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サプライチェーン対策のための国内投資促進事業費補助金

ものづくり・商業・サービス生産性向上促進補助金

IT導入補助金

兵庫県立地促進事業確認

兵庫県サプライチェン対策事業

事業継続力強化計画


平成24年度西宮市優良事業所顕彰受賞


六甲電子株式會社

郵政編號: 663-8105
兵庫縣西宮市中島町8-5



加盟団体

SIIQ

NEDIA

SiCアライアンス

SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

パワーデバイス・イネーブリング協会

SSL GlobalSign Site Seal


▼ 測試片的再生拋光


測試片的再生加工
這是一項再利用加工,將客戶在晶圓生產過程中使用過的測試片/檔片(Dummy Wafer)重新加工成跟新片同等質量的晶圓,並可多次使用。
對應晶圓尺寸
3英寸
4英寸
5英寸
6英寸
除膜
測試片的再生加工
選擇化學藥水
測試片的再生加工  
驗貨
測試片的再生加工
拋光
厚度・薄膜類型的分類
 
 
測試片的再生加工
出貨
測試片的再生加工
檢查
測試片的再生加工
清洗
 
顆粒・金屬汙染・厚度和外觀
 
RCA清洗



新設備:電阻率・P/N・厚度分選儀
● 测试片的再生加工

测试片的再生加工
對應於4、5、6、8英寸
● 测试片的再生加工

测试片的再生加工
電阻率測量範圍:1.0m~3.0MΩ・cm


■ 各加工中使用的機器介紹&說明
● 膜品種分類

膜品種分類
熟練工可一目了然地在多種多樣的膜品種中進行分選。
● 除膜

除膜
通過濕蝕刻去除各種制膜。
● 厚度分類

厚度分類
在除膜後把晶圓按照厚度分類。
● 批量粘貼

批量粘貼
將晶圓平貼在平板上進行批量拋光。
● 批量式拋光機

批量式拋光機
進行批量式鏡面拋光。
● 批量式拋光機

批量式拋光機
從平板上剝離拋光後的晶圓。
● RCA清洗裝置

RCA清洗裝置
金屬汙染・顆粒的清除。
● 顆粒計數器

顆粒計數器
對拋光的晶圓片上的顆粒進行檢查。
● 出貨前的檢查

出貨前的檢查
在出貨之前將根據客戶的要求進行檢查後出貨。
● 全反射熒光X射線表面分析儀TREX610

全反射蛍光X線表面分析装置
可以對晶圓表面的不純物12種元素(S、Cl、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn)進行分析。
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六甲電子株式會社
兵庫縣西宮市中島町8-5 TEL : 0798-65-4508
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